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技术创新的带头人
字号:[ ]    发布日期:2010-07-21    浏览次数:    信息来源:宁波日报开发导刊

  田达晰,男,1966年生,博士,高级工程师,三项国家发明专利持有人。2002年到宁波立立电子股份有限公司工作。曾先后担任科技部中小企业技术创新基金、信息产业部电子信息产业发展基金、国家火炬计划和863计划等国家项目的技术负责人。

  初识田达晰博士,是在宁波立立电子股份有限公司的实验室里。低调缓慢的语速,微乱的头发,厚厚的眼镜片,都让人感觉到他更像是一位学问深厚的大学教授。事实上,来立立电子之前,他就在浙江大学从事科研工作。

  2002年,田达晰来到宁波立立电子公司,负责应用于半导体领域的多晶硅的技术研发工作。在短短几年时间里,他带领公司技术人员成功研制出8英寸抛光硅片和外延片正片,并正式对国内外厂商供货,实现了公司大直径硅片销售零的突破。同时,通过技术攻关,他们掌握了埋层外延片、多层外延片和制备12英寸衬底片的国内领先技术;主导设计出了6-8英寸重掺杂单晶的掺杂技术及单晶生长热场技术,在很大程度上提高了重掺杂单晶的成品率和质量,大大降低了生产成本,使立立电子逐步占据了国内同行业的领先地位。

  在技术研发上勇争国内一流

  硅材料是支撑半导体工业的基础性材料,硅片又是集成电路的基础材料,90%以上大规模集成电路、超大规模集成电路都是制作在硅抛光片或硅外延片上的。因此,半导体硅材料行业的发展对集成电路产业的发展具有重要的支撑作用。

  田达晰和公司的科研人员们一道,积极与在国内硅材料研究领域处于领先地位的浙江大学专家开展全方位的合作,致力于硅抛光片、外延片及新型半导体材料的研制,形成了较强的消化吸收国外先进技术和自主研发、创新的能力,先后承担了10多项国家及省、市科研攻关项目。立立电子拥有了多项具有自主知识产权的核心技术及发明专利,在集成电路用硅片生产制造上掌握的技术在国内同行中具有显著优势。在此期间,田达晰也先后获得了三项国家发明专利。

  在田达晰和同事们的共同努力下,立立电子公司快速成长,技术领先优势日趋明显,成为我国国内唯一具有硅单晶锭、硅抛光片、外延片、功率芯片制造能力的完整产业链的半导体企业,并成为我国最大的硅抛光片和硅外延片生产企业之一。

  开展技术攻关永不懈怠

  田达晰和同事们并没有就此满足。在他的带领下,立立电子的科研团队在做好集成电路用抛光硅片的生产的同时,着重开发分立器用的重掺抛光硅片,直径从4英寸、5英寸、6英寸到8英寸,重型抛光硅片的技术水平很快与国际先进水平同步。8英寸重掺衬底外延片目前已经供应市场,立立电子也成为中国大陆第一家有8英寸正片批量供应市场的公司。田达晰和同事们还与浙江大学硅材料国家重点实验室合作,在国家863计划的资助下,掌握了12英寸微氮硅单晶技术和12英寸硅片制造技术。

  在田达晰和科研人员的共同努力下,立立电子的产品已广泛应用于计算机和网络通信等领域,约一半的产品出口新加坡、美国、日本、马来西亚、韩国和加拿大等半导体产业发达的国家和地区,并已成为意法半导体、安森美、仙童半导体、德州仪器等国际知名半导体制造商的稳定供应商,与意法半导体、安森美等重要客户建立起了良好的长期合作关系。

  新产品、新技术的研发永无止境。目前,田达晰和同事们的一个新研发项目已经通过了专家审查,即将获得国家重大集成电路专项资金支持。田达晰表示,有信心早日将立立电子建成全球一流的半导体硅材料生产企业。

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